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集成硅颜色传感器

An Integrated Colour Sensor
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摘要 介绍了一种新型的颜色传感器,其分光采用染色的聚酰亚胺滤色膜,它与传统的硅集成工艺兼容;敏感器件采用三个硅光二极管阵列。该传感器对入射光波长在380nm~650nm的范围内具有较高的灵敏度,且温漂小。 A new colour sensor which is Compatible with silicon integrated technology is introduced. It employs colour filter film of dyeing polymide.The sensing element conslsts of an array of 3 silicon optical diodes.The device has higher sensitivity to incident light ranging from 380nm to 650nm in wavelength,and its temperature drift is low.
机构地区 东南大学
出处 《传感器技术》 CSCD 1992年第1期19-21,共3页 Journal of Transducer Technology
关键词 集成硅 颜色传感器 聚酰亚胺 Colour sensor Polymidc Colour filter film
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