微电子技术中常用材料的机械性能

硅材料是微电子技术的基础材料,近十年来,硅又作为一种机械材料广泛应用于微传感器和微执行器领域。目前已用硅材料(包括多晶硅)研制成了各种微压力传感器、微结构、微夹子、微静电马达、微轴承等。除了在微传感器中的应用之外。