溅射膜的光学厚度控制器

本文叙述了如何改装商用溅射装置、以便对溅射膜的光学厚度进行实时监控。改装后的装置在靶面中心安置了一个小真空窗、使氦氖激光束能从中通过。利用所镀溅射层对光束反射率的影响、便可进行厚度的实时测量。