根据反射率测量确定薄膜的紫外光学常数

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摘要薄膜的光学常数可用两类方法来确定:(a)偏振法;(b)光度法。偏振测量法是测定:(1)反射光束的S偏振分量与p编振分量之比,r_p/r_s=tanψ和(2)该两分量的位相差△=δ_p-δ_s。

作者尹树百

出处《光电工程》 CAS 1977年第3期73-76,共4页 Opto-Electronic Engineering

关键词反射率反射比率基片衬底光学常数膜层厚度厚度值

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光电工程

1977年第3期

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