一种廉价的机床用激光干涉系统

本文描述了一种用于测量直线位移,具有亚微米级分辨率的小型激光干涉系统,并对其性能的初步鉴定情况作了报道。四象限光电二级管探测器还能灵敏地同时显示两个轴线方向内的直线性。