双光栅精密定位被引量：3

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摘要本文介绍了一种在生产和科研上都有广泛应用的精密定位系统．分析了该定位系统的工作原理、为达到实用化而采取的具体装置和应用领域，并对提高定位分辨率的方法和零位的选取作了阐述．该系统的定位分辨率为微米量级，定位范围可达１米甚至更长，并可实现对被定位物体坐标的实时、数字显示，因此在精密激光加工、激光扫描制版，激光检测等许多领域都有重要的应用．

作者凌志弘李新章

机构地区北京大学

出处《大学物理》北大核心 1992年第5期33-34,32,共3页 College Physics

关键词双光栅精密定位系统定位分辨率

分类号 TH703.65 [机械工程—精密仪器及机械]

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大学物理

1992年第5期

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