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双光栅精密定位
被引量:
3
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摘要
本文介绍了一种在生产和科研上都有广泛应用的精密定位系统.分析了该定位系统的工作原理、为达到实用化而采取的具体装置和应用领域,并对提高定位分辨率的方法和零位的选取作了阐述.该系统的定位分辨率为微米量级,定位范围可达1米甚至更长,并可实现对被定位物体坐标的实时、数字显示,因此在精密激光加工、激光扫描制版,激光检测等许多领域都有重要的应用.
作者
凌志弘
李新章
机构地区
北京大学
出处
《大学物理》
北大核心
1992年第5期33-34,32,共3页
College Physics
关键词
双光栅
精密定位系统
定位分辨率
分类号
TH703.65 [机械工程—精密仪器及机械]
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大学物理
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