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上海微系统所成功研制1.5英寸石墨烯单晶晶圆
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摘要
铜表面催化生长是目前制备石墨烯薄膜的主要技术途径,但由于无法实现单核控制,因而制备的薄膜一般为多晶,且生长速度随着时间的推移逐渐变慢。此前铜衬底上制备的最大石墨烯单晶筹尺寸约为1 cm,且需要较长的生长时间。
机构地区
上海微系统与信息技术研究所
出处
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第S1期122-,共1页
Bulletin of the Chinese Ceramic Society
关键词
石墨烯
上海微系统
表面催化
生长时间
生长机理
生长速度
核心控制
线性生长
第一性原理计算
碳浓度
分类号
TQ127.11 [化学工程—无机化工]
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