钢件的中温CVD涂覆

由瑞士Berna股份有限公司Bernex部门研制的中温化学气相沉积新工艺(MT—CVD)是对钢件和工具涂覆碳氮化钛Ti(N、C)增加耐磨性的一种有前途的新方法。本文就不同温度下的沉积速率,不同的涂层结构、组织、形态、成分、残余应力、耐磨性及耐蚀性等方面对新工艺和普通的高温CVD(HT—CVD)进行了比较。