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关于薄膜厚度精确测量的方法探析
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摘要
针对薄膜多层膜来说,在测量其厚度时需要严格控制精确度。本文探讨分析薄膜厚度精确测量的方法,针对X射线衍射方式对其测量精度进行研究。按照此次试验结果显示,针对薄膜测量方式来说,提升测量精准度的基础性条件就是精密装调样品台,在此基础之上多层膜比单层膜在厚度测量上更加具有精确性。在实际测量前需要选择适宜的衍射峰,这样能够从根本上提升薄膜周期厚度测量精度。
作者
陈涌得
机构地区
广东省潮州市质量计量监督检测所
出处
《轻工科技》
2018年第4期100-101,共2页
Light Industry Science and Technology
关键词
薄膜
厚度
精确测量
方法探析
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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