关于薄膜厚度精确测量的方法探析

针对薄膜多层膜来说,在测量其厚度时需要严格控制精确度。本文探讨分析薄膜厚度精确测量的方法,针对X射线衍射方式对其测量精度进行研究。按照此次试验结果显示,针对薄膜测量方式来说,提升测量精准度的基础性条件就是精密装调样品台,在此基础之上多层膜比单层膜在厚度测量上更加具有精确性。在实际测量前需要选择适宜的衍射峰,这样能够从根本上提升薄膜周期厚度测量精度。