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多光束干涉显微术中微轮廓图方法
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摘要
本文介绍多光束干涉显微术中微轮廓图方法的原理和实验装置,着重描述了具有实用意义的“零级条纹法”,并提出采用小型氦氖激光器作为照明光源的建议。
作者
李介眉
李绍泉
机构地区
广州大学实验中心
出处
《广州大学学报（社会科学版）》
1987年第1期68-74,共7页
Journal of Guangzhou University:Social Science Edition
关键词
轮廓图
多光束干涉
显微术
暗条纹
照明光源
氦氖激光器
轮廓线
点光源
金相显微镜
锐度
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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广州大学学报（社会科学版）
1987年 第1期
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