高纯气体中粒子源的测定

对高纯气体进行粒子分析在半导体生产中已普遍用于质量管理,以确定气体纯度是否符合规定要求。例如,SEMI最近已通过一项规定,管道氮气和氩气经过滤后,大于0.2μm的粒子含量每立方英尺(scf)不得多于20粒。因此,在一个新的供气系统投入运行以前,应使用动态粒子计数器对全部系统进行测定,以保证粒子达到规定要求。另外,计数器还要对整个系统进行连续监测,以保证管道供气期间保持纯度。现在。