期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
超高纯气体管路系统
下载PDF
职称材料
导出
摘要
着重介绍室内超高纯气体管路系统为防止污染而采取的正确设计、安装及使用方法,对管道表面渗漏状况、粒子污染状况及其影响等作了详细的阐述。
作者
张洪雁
机构地区
航空航天部第七设计研究院
出处
《低温与特气》
CAS
1992年第3期30-35,共6页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
超高纯气体
管路系统
集成电路
分类号
TN48 [电子电信—微电子学与固体电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
2
共引文献
2
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
参考文献
2
1
张洪雁.
高纯气体洁净度的控制标准[J]
.低温与特气,1990,8(3):15-18.
被引量：3
2
张洪雁.
高纯气体输配管路系统污染的防治[J]
.低温与特气,1990,8(1):35-39.
被引量：2
共引文献
2
1
张洪雁.
高洁净度压缩空气/气体的净化、过滤(续)[J]
.洁净与空调技术,2005(1):58-62.
被引量：2
2
张洪雁.
洁净室内高纯气体管路系统的洁净技术[J]
.洁净与空调技术,2001(4):38-42.
被引量：2
1
韩美,刘俊义.
半导体工艺中超高纯气的稳定供应技术[J]
.低温与特气,2000,18(2):21-24.
2
芯片需要超纯水 GF管路系统公司为AMD提供满足输送超纯水要求的管路系统[J]
.流程工业,2011(15):25-25.
3
卫晓冲,张峰,田娜.
硅芯硅棒自动清洗设备的研制[J]
.电子工业专用设备,2011,40(7):28-30.
被引量：1
4
叶江平.
基站智能空调通风管路系统的设计和实践[J]
.电信技术,2008(8):35-36.
被引量：3
5
余秀华.
海尔冰箱压缩机不工作通病[J]
.家电维修,2016,0(2).
6
燃油泵自动测试机[J]
.经济导报（汽车工业）,2008(2):94-96.
7
曹向群,唐九耀,范丽娜.
高温热氧化中SiO_2层厚度的控制研究[J]
.光电子．激光,2001,12(9):975-976.
被引量：1
8
Christian Neye Karl-Heinz Mayer Manfred Paulus.
追求完美的性能——塑料蝶阀可以在要求很高的场合下使用[J]
.流程工业,2006(5):64-66.
9
西川幸伸.
半导体制造用气供给系统及过滤器[J]
.低温与特气,1996,14(3):22-25.
10
陈杏.
创造价值 成就完美 与美国国际通用技术公司访谈录[J]
.电子工业专用设备,2005,34(3):77-78.
低温与特气
1992年 第3期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
