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变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计 被引量：2

Control System Design of Ruling Engine for Varied-line Space (VLS) Diffraction Gratings
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摘要 提出了采用相位扫描方法加工变栅距 (VLS)光栅的基本原理 ,给出了VLS光栅刻划机的控制系统 ,并通过刻划实验对这一新方法进行了验证。 The phase-scanning method for manufacturing the varied-line space (VLS) gratings is suggested first time. The control system of the VLS gratings ruling engine is given also and a ruling experiment of the VLS gratings is made to examine the novel method.
作者 时轮
机构地区 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处 《微细加工技术》 2002年第4期32-35,共4页 Microfabrication Technology
关键词 变栅距 光栅 刻划机 控制系统 干涉仪 工作原理 微电子 varied-line space ( VLS ) gratings ruling engine control system
分类号 TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN30 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献5

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共引文献41

同被引文献12

引证文献2

二级引证文献7

微细加工技术
2002年 第4期

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