微型溅射离子泵在X射线管制造中的应用被引量：1

Mini Sputter Ion Pump and Its Application in the X-Ray Tube Manufacture

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摘要介绍微型溅射离子泵的结构、工作原理及其在X射线管制造中的应用。 This article described the design, principle of the mini ion pump and its application in the pumping process of X ray tube manufacture.

作者杨美民盛久山

机构地区杭州万东电子有限公司

出处《真空电子技术》 2002年第6期59-60,共2页 Vacuum Electronics

关键词微型溅射离子泵 X射线管钛 Sputter ion pump X ray tube Titanium

分类号 TN13 [电子电信—物理电子学]

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真空电子技术

2002年第6期

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