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微机电系统材料特性检测技术 被引量：1

Testing Techniques for MEMSs Material Characteristics
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摘要 微机电系统(MEMS)的材料特性是决定微机电系统性能的重要参数。本文介绍了微机电系统材料特性的各种检测技术以及材料特性的研究现状与发展,着重介绍了全光学测试法和波导测试站的分类、原理及特性。 The material characteristics of MEMS play an important role in the performance of MEMS. This paper introduces the material characteristics of MEMS, various ways of testing techniques, the present research level and the development of material characteristics.
作者 廖峰 石庚辰
机构地区 北京理工大学
出处 《传感器世界》 2002年第12期1-5,共5页 Sensor World
关键词 EMES 微机电系统 材料特性 检测技术 全光学测试 波导测试站 MEMS Material characteristics Testing techniques
分类号 TP274.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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引证文献1

二级引证文献2

传感器世界
2002年 第12期

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