摘要
全文描述了各种非晶固体光敏传感器技术以及它们的结构、工作原理和应用。本文主要介绍a-Si:H(氢化非晶硅)图像传感器、mc-Si:H(氢化微晶硅)图像传感器。
In this serial paper, the structures, performances and applications of the non-crystalline solid photosensitive sensors are described. a-Si:H image sensor and the mc-Si:H image sensors are the emphases of the first part of the serial paper.
出处
《传感器世界》
2002年第12期6-15,共10页
Sensor World
