离子束辅助沉积技术制备非晶合金薄膜
摘要
本文阐述了用离子束辅助沉积（IBAD）技术制备非晶合金薄膜的基本思路，介绍了本研究组在二元合金系统里制备和非晶和亚稳晶相的研究结果，研究发现，在所选的几个系统里采用IBAD技术均实现了非晶化，还发现了某些新相形成和相溶化现象，表现出与多层膜离子束混合（IM）不同的相形成规律，二元系统的形成热、组元金属的晶体结构和辅助离子束的能量对相的形成的均有重要的影响，这些研究表明IBAD技术在二元合金系统中制备与研究非晶合金薄膜以及亚稳晶态薄膜方面具有很大的应用前景和理论意义。
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第B12期1-4,共4页
Vacuum Science and Technology
参考文献15
-
1Liu B X, Lai W S and Zhang Q. Irradiation induced amorphization in metallic muhilayers and calculation of glassforming ability from atomistic potential in the binary metal systems. Materials Science and Engineering R-Reports,2000,29 : 1-48
-
2Hirvonen J K. Current topics of ion-beam research-and-development Surfce Coating & Technology. 1994,65:84-89
-
3Ensinger W. Ion bombardment effects during deposiiton of nitride and metal films Surface Coating & Technology1998,99 : 1-13
-
4Lacerda R G,Hammer P,Freire F L et al. On the structure of argon assisted amorphous carbon films Diamond and Related Materials 2000,9 : 796-800
-
5Ding M,Zeng F, Pan F. Amorphous films of the Fe-Zr alloy prepared by ion beam assisted deposition. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B,2000,170:79-84
-
6Tsaur B Y, Ph D, Thesis. California Institute of Technology, 1980
-
7Andersen L A, Bottiger 21, Dyrbye K. On the phase formation during ion-beam mixing. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 1990,51 :125-132
-
8Kwon K W, Lee H J, Sinclair R. Solid-state amorphization at tetragonal-Ta/Cu interfaces. Appl. Phys.lett. 1999, 75(7) :935-937
-
9潘峰,柳百新.互不固溶系统的固态反应非晶化[J].材料研究学报,1998,12(3):311-313. 被引量：4
-
10Zhang Z J, Liu B X. Solid-state phase-transition induced by ion irradiation in the Co-Nb system-experiments and thermodynamics J. Phys. : Condens. Matter 1994,6 ( 13 ) :2647-2658
二级参考文献3
-
1潘峰，Appl Phys Lett，1995年，67卷，780页
-
2柳百新，Nucl Instrum Methods Phys Res B，1995年，106卷，17页
-
3Zhang Z J，Phys Rev B，1995年，51卷，16475页
共引文献3
-
1张金民,岳宗洪,韩顺昌,文九巴,张天佑,魏保恒,许庆合.321/Qd370qD爆炸焊接界面附近非晶相[J].热加工工艺,2007,36(11):12-13.
-
2黄远,孔德月,何芳,王玉林,刘文西.辐照损伤合金化制备Mo/Ag层状复合材料[J].金属学报,2012,48(10):1253-1259. 被引量：3
-
3曾飞,赵斌,潘峰.离子束辅助沉积引发互不固溶系非晶相和亚稳晶相形成[J].材料科学与工艺,2001,9(3):277-280. 被引量：5
-
1丁珉,曾飞,潘峰.离子束辅助沉积制备的铁锆多层膜中的相演化[J].材料工程,2000,28(4):19-21. 被引量：2
-
2傅永庆,朱晓东,徐可为,何家文.离子束辅助沉积技术及其进展[J].材料科学与工程,1996,14(3):22-32. 被引量：17
-
3翁端,李西峰,马春来.离子束辅助沉积技术在腐蚀与防护中的应用[J].材料保护,1998,31(2):21-23. 被引量：3
-
4刘文宏,朱德彰,王震遐,柳襄怀.Ni/Ti双金属层的离子束混合与固态反应[J].物理学报,1990,39(7):1117-1121.
-
5闫鹏勋.离子束混合对纯铁腐蚀行为的影响[J].甘肃科学学报,1994,6(1):67-70.
-
6阎鹏勋,吴宝善.离子束混合形成TiN薄膜的研究[J].机械工程材料,1992,16(3):42-45.
-
7王斐杰,陈学钏,李先遥,王玉魁,马腾才.离子束混合表面改性层的电镜研究[J].大连理工大学学报,1993,33(1):51-56. 被引量：1
-
8王斐杰,陈学钏,李先遥,王玉魁,马腾才.工模具钢离子束混合改性层的组织结构与性能[J].大连理工大学学报,1992,32(3):279-285. 被引量：1
-
9吴宝善,阎鹏勋.离子束混合改善纯铁耐蚀性能的研究[J].兰州大学学报（自然科学版）,1992,28(3):49-54.
-
10郭怀喜,范湘军,余全华,彭友贵,刘昌,叶明生.离子束混合Fe—Cr非晶薄膜的耐蚀性研究[J].武汉大学学报（自然科学版）,1991(4):41-46.
