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RF高屏蔽波纹管真空室的设计与研究

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摘要 采用弹性指状屏兼顾平滑方圆过渡RF屏蔽结构设计,有效地降低了波纹管部件的真空阻抗。测试结构表明新结构带有RF屏蔽波纹管的真空室与普通结构波纹管的(无RF屏蔽)真空室相比,其真空阻抗Z/n降低了三分之二,达到改进设计要求。
出处 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第B12期36-38,91,共4页 Vacuum Science and Technology
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