气体混合配比仪校准方法研究

阐述了气体混合配比仪的结构及工作原理,分别对其流量、压力以及密封性各计量参数指标进行研究。介绍了一种气体混合配比仪的校准方法,分别对气体流量、压力及密封性进行校准,实现整机多参数校准。