基于比对法的渗氦型标准漏孔测量不确定度评定

使用研制的大型真空工艺设备现场系统测试与校准装置,利用四极质谱计采集氦离子流,对渗氦型标准漏孔进行基于比对法的校准,介绍了测量方法和工作流程,结合渗氦型标准漏孔实际校准工作情况,建立测量模型,分析评定校准过程中引入的不确定度分量,计算扩展不确定度,对测得的漏率值进行不确定度验证。