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孔径尺寸非接触式直接测量方法研究
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摘要
针对如何准确测量孔径尺寸的问题,传统的接触式测量法既无法涵盖10 mm以下微小孔径尺寸的测量需求,其测量的准确性与效率也难以满足实际工作的要求。本文介绍了一种根据光电显微瞄准技术搭建的精密孔径测试装置实现对孔径尺寸的非接触式直接测量,并对测量过程中影响测量结果的不确定度分量进行分析。
作者
祝卿
陈继刚
余华昌
包晓峰
机构地区
上海精密计量测试研究所
出处
《计测技术》
2017年第S1期57-60,共4页
Metrology & Measurement Technology
关键词
孔径尺寸
精密孔径测试装置
测量不确定度
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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计测技术
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