MSM探测器的研究综述

光探测器是光纤通信系统的重要组成部分。金属-半导体-金属光电探测器(metal-semicondctor-metal photodetector,MSMPD)具有寄生电容低,响应波长可覆盖光通信1300-1550nm的低损耗窗口波段等优点。在制作工艺方面,MSM-PD结构简单,易于制作,从晶体生长到器件制作的整个过程与FET兼容。因此,MSM-PD已成为光电子集成电路、高速光纤通信系统的高响应光电器件领域的重要研究对象。简要介绍了MSM光探测器的技术概况,分析了MSM-PD的基本原理和性能参数,并论述了MSM探测器的发展趋势。