期刊文献+

半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨

Experiences in hazard gas detector application in sraiconductor IC factory
下载PDF
导出
摘要 本文除概略介绍气体检测器的种类外,主要对气体检测器的原理和在实际使用中的局限性作一基本归纳叙述。限于篇幅,本文将论述的重点放在气体检测器的选用与设置规划上,提出个人的一点心得与看法,以作为未来设置气体检测器系统时之参考。 The operation principle and limit as well as types of gas detector are summarized. The main discussion is concentrated on selection and configuration plan of gas detectors as reference for gas detector -layout.
作者 胡仕新
出处 《洁净与空调技术》 2002年第4期36-42,共7页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词 半导体 芯片厂 气体检测器 可燃性气体 毒性气体 Gas detector Flammable gas Hazardous gas Detector selection Detector evalua-tion Layout planning
  • 相关文献

参考文献9

  • 1"Monitoring Capabilities Guide"Zellweger analytics,2000年8月.
  • 2"HAZARDOUS GAS MONITORING: A Guide for Semiconductor and Other Hazardous Occupancies",2000 年 5 月.
  • 3"Properties and reactivates of chlorine trifluoride" semiconductor international June 1999.
  • 4"Ignition Characteristics of Releases of 100% Silane" SEMATECH Doc.1996年3月.
  • 5"半导体材料气体和气体检知警报器".New Cosmos Electric Co.,Ltd.2001年6月.
  • 6"超大规模集成电路工厂环境、防灾安全措施综合技术资料下集",无锡市105信箱,1983年4月.
  • 7"大规模集成电路工厂洁净技术".[日]铃木道夫等著.电子工业出版社.
  • 8"洁净室设计手册".[日]早川一也著.学术书刊出版社,1989年8月.
  • 9"洁净厂房设计规范",GB 50073-2001.

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部