精度理论在键合机设备调试中的应用

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摘要依据误差分析的方法分析和阐述了FB-118A键合机精度的调整过程，并根据精度分析理论对FB-118A键合机精度的调整过程进行了论证。

作者王志超

机构地区首钢高新技术有限公司

出处《首钢科技》 2002年第5期38-41,共4页 Shougang Science and Technology

关键词精度理论调试键合机键合头集成电路

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2002年第5期

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