回转涡线式真空泵

1 开发背景在半导体制造、化工生产,食品、金属加工等行业,真空泵的需求量显著增加,但市场更期待有体积小、重量轻、噪声低、振动小及维修简单的真空泵。从真空泵的形式来看,历来的转子叶片式现已普及。三菱电机公司为了满足市场的需要,成功地研制出了世界上第一台回转涡线式真空泵.与转子叶片式真空泵相比,这种真空泵的单级可达真空度提高了10倍。