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喷射式真空机械手
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摘要
介绍电子工业常用的真空机械手,阐述其工作原理、结构、回路。通过工和实例,介绍了实用的计算公工及真空系统的设计方法。
作者
陈冠方
陈莉
机构地区
桂林电子工业学院
出处
《电子工艺技术》
1992年第2期8-12,共5页
Electronics Process Technology
关键词
机械手
真空机械手
喷射式
结构
分类号
TP241 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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电子工艺技术
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