摘要
介绍了微系统专用的设计方法 ,即虚拟制造微系统来实现微系统的设计 ,并提供了微系统设计流程 .
It described a special design method using virtual fabricate microsystem to realize microsystem design and supplying a flow path to design microsystem.
出处
《机械与电子》
2003年第1期44-46,共3页
Machinery & Electronics
基金
国家自然科学基金资助 ) 5 0 10 5 0 2 0 )
关键词
微系统
虚拟制造
设计
模型
microsystem
virtual fabricate
design
model
