发展中的微机械技术
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1程永来.声学微机械技术[J].高技术通讯,1995,5(1):61-62.
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2李栓庆.微机械及其特性[J].半导体情报,1997,34(2):34-37.
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3老蔡.微机械技术与光交换机(上)[J].电子产品世界,2002,9(04A):28-31.
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4王东祥,王连成.纵横利弊谈硅材[J].钟表,2009(2):48-50.
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5郝颖,秦和平.微机械惯性传感器的现状与展望[J].惯导与仪表,2002(2):6-9.
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6集成光学器件及应用[J].中国光学,1994(3):66-68.
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7李锋.MEMS/MOEMS在光通信中的应用[J].光机电信息,2002,19(8):8-12. 被引量：2
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8赵继德,李应良,马传龙.微尺度下新型MEMS滤波器的研究[J].激光技术,2005,29(6):632-635. 被引量：2
-
9NTT公司开发出带状芯光纤熔接机[J].通信工程,1994(1):40-40.
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10老蔡.微机械技术与光交换机(下)[J].电子产品世界,2002,9(06A):66-67.
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