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JEM—100SX真空系统工作方式的改进——AES电路的研制

The Improvment on Operating mode for JEM-100SX Vacuum System——Preparation of AES Circuit
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摘要 JEM—100SX的真空系统具有一个较大的缺陷,那就是,V_4是手动阀,且原真空系统电路未建立起对V_4和V_5先后次序的控制。这样便造成了可能多次出现的照相室放气时的误操作。本文对原真空系统工作方式的弊端进行了讨论,并研制出一种真空系统的辅助电路AES(Attachment of Evacuation System)。这个电路能对V_4和V_5的先后顺序进行控制。JEM—100SX安装上AES电路可完全防止放气误操作。 There is a big defect in JEM-IOOSX vacuum system, that is, V4 is a manual valve, and the original evacua-tion system unit can' t control the order of V4 and V5so, many times of mistaken operations occur with camera set-ting- air. In this paper, We have discussed the defect of operating mode in original vacuum system, and prepared an ausiliary circuit AES(Attachment of Evacuation System). This circuit can control the order of V4 and V5. If JEM-100SX is installed with AES, it will avoid the mistaken operations of setting air.
作者 白永臣 赵迪
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 1992年第1期68-70,共3页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
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