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S-450扫描电镜故障及维修 被引量:1

Troubles Shooting and Service of S-450 Scanning Electron Microscopes
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摘要 本文根据作者几年来的工作实践,总结了日立S-450扫描电镜在操作中碰到的一些故障及维修方法。 On the basis of experiences and practice for several years, the auther of the paper has summarized some troubles met in operating the S-450 SEM and its service.
作者 吴义方
机构地区 中山医科大学
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 1992年第6期489-490,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
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