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JEM-100CXⅡ电子显微镜真空系统阀门控制电路的故障排除
The Eliminaion of the Trouble in Valving Control Circuit of the Vacuum System of JEM-100CXⅡType
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摘要
由于真空系统阀门控制电路发生故障,造成电镜自动停机及无电子束光斑。
EM auto stop and no illumination spot were caused by the trouble in valving control circuit of the vacuum system.
作者
卓海江
郭祖文
机构地区
暨南大学电镜室
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1992年第6期486-488,共3页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
关键词
电子显微镜
真空系统
控制电路
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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电子显微学报
1992年 第6期
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