氮化铝共烧多层基板平整性的研究

Study on Flatness of AIN Co-fired Multilayer Substrate

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摘要对影响AlN共烧多层基板平整性的几个因素进行了研究,取得了一定的成果。 The several factors of effect on the platness of AlN co-fired muhilayer substrate are studied, and some achievements are pressented here.

作者张浩崔嵩

机构地区中国电子科技集团公司第

出处《电子元器件应用》 2003年第1期62-63,66,共3页 Electronic Component & Device Applications

关键词氮化铝基板共烧多层平整性 AIN 烧结排胶 AlN substrate Co-fired multilayer Flatness

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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