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悬浮粒子污染控制ISO标准14644—1、2及符合ISO14644—3标准的测试方法

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摘要 本文讨论的ISO文件是:ISO14644标准第一部分;洁净室悬浮粒子分级及相关的受控环境;第二部分;洁净室和洁净区监测技术条件,以证明仍然符合第一部分的要求;第三部分,计量和测试方法。
出处 《洁净与空调技术》 2002年第B12期19-27,共9页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology
  • 相关文献

参考文献4

  • 114644—1洁净室及相关受控环境:悬浮粒子分级
  • 214644—2洁净室和洁净区测试和监测技术条件
  • 314644—3计量和测试方法
  • 4ASCCA技术部:根据ISO标准的洁净室计量方法Milano,2002年3月26日.

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