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2002年度最佳半导体设备获奖产品

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摘要 著名期刊《半导体国际》每年均由负任编辑评选出半导体和相半制造设备中的精品,授于最佳产品奖以表扬它们在促进半导体制造的贡献。《半导体国际》奖励这些产品是因为它们对改善晶圆片生产过程;芯片封装;测试能力;提高生产率;改善工作条件;安全生产和环境保护的贡献。今年是《半导体国际》评选最佳产品奖的第14年,共评出产品12项,它们是由用声提名而不是制造厂提名的,最后由该刊编辑集体评审。 2002年最佳产品包括材料、设备、软件、仪器等12项,它们来自4个国家的10家公司。根据这些介绍我们可看出,尽管2002年半导体业界处于不甚景气状态,因而未见到有突破性的关键设备问世,但是仍然有不少精品推出,它们有助于促进半导体业界的发展,生产出性能价格比更高的产品。
出处 《世界产品与技术》 2003年第2期86-87,共2页
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