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TiO_2陶瓷在磁控溅射中电导率改变机理研究 被引量：1

Research on the Mechanism of the Changing Conductivity of TiO_2 Ceramics in RF Magnetic Sputtering
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摘要 在Ar气氛中对TiO2陶瓷进行射频磁控溅射时,TiO2陶瓷电导率发生显著变化。该文对这一现象进行了研究。采用多种分析手段对实验结果进行了分析。分析表明,辉光放电电离Ar气所产生的Ar离子冲击TiO2陶瓷表面的热量和动量被O2-吸收,引起O2-溢出TiO2陶瓷,导致TiO2化学配比偏离正常,从而提高了TiO2陶瓷的电导率。 The electric conductivity of TiO2 ceramics changed in the RF magnetic sputtering.This paper made research on this phenomenon.Research result shows that bombing by Ar ion on the surface of the TiO2 ceramics produce much heat in the RF magnetic sputtering which caused the oxygen deficient in the TiO2 ceramics.The electric conductivity of TiO2 ceramics changed as the oxygen deficient.
作者 赵大庆 杨锋
机构地区 清华大学机械工程系
出处 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第1期81-83,共3页 Piezoelectrics & Acoustooptics
关键词 TiO2陶瓷 射频磁控溅射 电导率 RF magnetic sputtering TiO_2 conductivity
分类号 TM283 [一般工业技术—材料科学与工程]
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参考文献3

二级参考文献8

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共引文献13

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引证文献1

压电与声光
2003年 第1期

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