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一种简便的真空室返油清洗法

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摘要在真空镀膜实验中,若遇突然停电而未及时采取应对措施,或操作不当(例如关闭机械泵时未很快将机械泵放气阀门打开),则会发生机械泵油进入真空室和扩散泵的返油事故(当通往真空室和扩散泵的真空管路阀门均开启时).

作者杨德甫张富春杨能勋

机构地区延安大学信息学院

出处《物理通报》 2003年第2期46-46,共1页 Physics Bulletin

关键词清洗方法返油故障真空镀膜真空室

分类号 TB75 [一般工业技术—真空技术]

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物理通报

2003年第2期

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