硅基底薄膜波导在VLSI光互连中的应用研究
被引量：2
The Research on the Application of Si-Based Film Waveguides to Optical Interconnection in VLSI
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1992年第6期1-4,共4页
Chinese High Technology Letters
基金
863计划资助课题
关键词
硅基底
光波导
超大规模
集成电路
Si matrix
Optical waveguide
Optical interconnection
VLSI
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