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液晶实时掩膜技术制作连续微光学元件 被引量:20

LCD Real-Time Mask Technique for Fabrication of Continuous Microoptical Elements
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摘要 提出制作连续微光学元件的一种新技术———液晶实时掩膜技术 ,阐述了其基本原理和制作方法。基于部分相干光成像理论 ,采用计算机模拟了用实时掩膜制作微透镜和微轴锥镜阵列的过程。同时建立了实验装置进行实验 ,用全色银盐干板 (Kodak 131)通过酶刻蚀得到口径为 118.7μm ,深为 1.32 2 μm的 5 6× 48的轴锥镜的列阵。 A new technique for fabrication of continuous microoptical elements by using LCD (liquid crystal display) real-time mask is proposed, and its principle and design method are expatiated. Based on partial coherent imaging theory, the process to fabricate the microaxicon and the microlens has been simulated. The experimental setup for LCD real-time mask technique was built, and the micro-axicon array has been fabricated. The 3-dimensional surface relief structure was shaped in the pan chromatic silver-halide sensitized gelatin (Kodak-131) with trypsinase etching. The caliber of axicon is 118.7 μm, and the etching depth is 1.322 μm.
出处 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期220-224,共5页 Acta Optica Sinica
基金 国家自然科学基金 ( 6 99780 14)资助课题。
关键词 制作 应用光学 实时掩膜 液晶显示器件 连续微光学元件 光刻 Computer simulation Liquid crystal displays Photolithography Real time systems
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引证文献20

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