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测射型应变式合金薄膜压力传感器
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职称材料
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《传感器世界》
2003年第2期38-38,共1页
Sensor World
关键词
压力传感器
性能指标
氮化离子流复合合成膜技术
集成电路微细图形加工技术
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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1
溅射型应变式合金薄膜压力传感器[J]
.传感器世界,2002,8(12):36-36.
2
彭士元,欧阳左群.
能耐高温的合金薄膜压力传感器和变送器[J]
.测控技术,1993,12(4):28-30.
被引量:3
3
欧阳德利.
微量程合金薄膜压力传感器[J]
.电子器件,1997,20(1):522-527.
被引量:1
传感器世界
2003年 第2期
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