用于加工偏轴反射镜组件的大型CNC磨床的设计和制造

近年来,大型光学系统设计趋势是采用偏轴非球面镜组件,用它们组成一个大型的“母”光学表面,但偏轴光学组件难以用传统的方法进行加工。本文介绍了英国克莱菲尔德精密工程有限公司设计并研制的一种大型三坐标CNC磨床,用来加工这类光学零件。由于采用特殊计量框架新概念和分辨率达到2.5nm的多通路激光干涉系统,使该机床具有很高的精度和测量功能。