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单晶硅SOI高温压力传感器的研究被引量：1

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出处《传感器世界》 2003年第2期36-37,共2页 Sensor World

关键词单晶硅高温压力传感器

分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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传感器世界

2003年第2期

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