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基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪系统ZEMAX仿真方法 被引量:12

ZEMAX Simulation Methodof Laser Tracing System Using a Dual-Wavelength Method to Compensate for the Refractive Index of Air
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摘要 提出了一种基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量系统的ZEMAX仿真分析方法。利用光学器件对偏振光的变换特性来建立系统的能量模型,建立了基于ZEMAX软件的光学系统模型,分析了光学系统中非理想的光学元件性能对干涉条纹对比度的影响。仿真分析结果表明,当光学系统分光部分、追踪部分和接收部分的分光镜的分光比分别为2…8、6…4和5…5时,条纹对比度达到0.99,光学系统的干涉效果最好。光学系统中的偏振分光镜在非理想条件下,对干涉信号的条纹对比度的影响较小。 In this study,we propose a ZEMAX simulation analysis method for laser tracking measurement using a dual-wavelength method to compensate for the refractive index of air.We first develop an energy model for the system using optical elements to transform its polarization characteristics.We then establish an optical-system model based on ZEMAX to analyze the influence of the non-ideal performance of optical elements on the visibility of fringe pattern.The simulation results show that the interference pattern is most obvious when the splitting ratios of the beam splitters in the spectroscopic part of the system,the tracking part,and the receiving part are 2…8,6…4,and5…5,respectively.The polarization beam splitters in the optical system have little influence on the visibility of the fringe pattern under non-ideal conditions.
作者 陈洪芳 汤亮 石照耀 宋辉旭 孙衍强 Chen Hongfang;Tang Liang;Shi Zhaoyao;Song Huixu;Sun Yanqiang(Beijing Engineering Research Center of Precision Measurement Technology and Instruments,Beijing University of Technology,Beijing100124,China)
出处 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期232-239,共8页 Chinese Journal of Lasers
基金 国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ17053904) 国家自然科学基金(51635001) 北京市自然科学基金(3182005)
关键词 测量 空气折射率补偿 激光追踪仪 ZEMAX仿真 能量分析 高精度测量 measurement compensation of air refractive index laser tracer ZEMAX simulation energy analysis high-precision measurement
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