干涉原理与干涉仪标准的思考

在国家平晶计量标准的测量方法由等倾向等厚变化的时候,对于现代数字化等厚干涉仪无国家标准的状况也将有所改变。本文从等厚干涉仪的测试原理、仪器特点、测试对象等方面进行讨论,对于干涉仪标准的制定提出了一些看法。