跨尺度微纳米测量仪开发和应用项目启动

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摘要 2015年3月20日,国家重大科学仪器设备开发专项"跨尺度微纳米测量仪的开发和应用"项目首次工作会议在上海市计量测试技术研究院举行。"跨尺度微纳米测量仪的开发与应用"项目以我国近年多项创新技术及上海市计测院博士后科研成果为基础,突破我国在微纳米检测技术领域检测方法集成开发的诸多技术瓶颈,旨在攻克宏微联动多轴驱动和多测头集成。

出处《江苏现代计量》 2015年第4期9-9,共1页 Jiangsu Present Day Metrology

关键词微纳米量仪计量测试技术科学仪器设备科研成果工作会议测头计量技术国际先进技术监督检验

分类号 TH70 [机械工程—精密仪器及机械]

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