物理气相沉积薄膜附着性的影响因素
The Effecting Factors of Adhesion on Physical Vapor Deposition Thin Films
摘要
综述了关于薄膜附着性能的研究进展 ,总结了影响附着性的主要因素 。
出处
《新技术新工艺》
北大核心
2003年第2期42-45,共4页
New Technology & New Process
参考文献4
-
1于力,刘技文,赵杰,戴少侠,金柱京,王慧君.基材温度对离子镀TiN膜性能的影响[J].金属学报,1996,32(12):1270-1274. 被引量：8
-
2韦习成,李健,袁成清.磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试[J].摩擦学学报,2000,20(3):229-231. 被引量：10
-
3朱永法,王莉,姚文清,曹立礼.金刚石颗粒表面Cr金属化及薄膜间界面扩散反应的研究[J].高等学校化学学报,2000,21(8):1269-1272. 被引量：11
-
4王力蘅 等.薄膜技术[M].清华大学出版社,1991..
二级参考文献13
-
1于德洋,翁立军.物理气相沉积减摩与耐磨薄膜[J].摩擦学学报,1996,16(3):282-288. 被引量：13
-
2孙家枢，金属的磨损，1992年
-
3Cheng C C，Surf Coat Technol，1989年，39卷，365页
-
4蔡泽高，金属磨损与断裂，1985年
-
5徐滨士，表面工程的理论与技术，1999年
-
6李国英，表面工程手册，1998年
-
7李健，材料保护，1995年，28卷，11B期，62页
-
8王力衡，薄膜技术，1991年
-
9田民波，薄膜科学与技术手册，1991年
-
10贾俊辉，机械工程材料，1988年，12卷，6期，31页
共引文献25
-
1冒爱琴,何宜柱,郑翠红,朱伟长,闫勇,李家茂.金刚石表面金属化的研究现状[J].材料导报,2005,19(2):31-33. 被引量：23
-
2白秀琴,李健.负偏压对低温沉积TiN薄膜表面性能的影响[J].中国表面工程,2005,18(5):20-23. 被引量：8
-
3刘仕福,沈以赴,王少刚.石墨表面钛金属化微观组织分析[J].焊接学报,2005,26(12):89-92. 被引量：2
-
4刘仕福,沈以赴,王少刚,王蕾.石墨表面钛金属化界面的组织及机理[J].稀有金属材料与工程,2006,35(7):1085-1088. 被引量：4
-
5杨班权,陈光南,张坤,罗耕星,肖京华.涂层／基体材料界面结合强度测量方法的现状与展望[J].力学进展,2007,37(1):67-79. 被引量：64
-
6宋文龙,邓建新,赵金龙.磁控溅射薄膜附着性能的影响因素[J].工具技术,2007,41(10):20-23. 被引量：7
-
7杨班权,张坤,陈光南,罗耕星,肖京华.涂层断裂韧性的声发射辅助拉伸测量方法[J].兵工学报,2008,29(4):420-424. 被引量：6
-
8方针正,林晨光,张小勇,陆艳杰,刘鑫.金刚石/Cu复合材料的烧结致密化研究[J].稀有金属,2008,32(3):306-310. 被引量：13
-
9崔新强,蒋宝财,郭向朝.石英玻璃表面金属沉积层的界面研究[J].材料保护,2008,41(9):5-7. 被引量：3
-
10周细应,严敏杰.基体表面粗糙度对纳米复合镀层组织及性能的影响[J].机械工程材料,2009,33(6):22-24. 被引量：2
