以经济的投资达到满意的效果——微电子厂房管道设计施工
Achieve Satisfactory Effect by the Investment with Economy
摘要
介绍127mm(φ5英寸)0.8~1.2μm双极电路生产线对气体、纯水的质量要求,以及如何以经济的投资达到满意的结果。
出处
《工程建设与设计》
2003年第2期27-28,共2页
Construction & Design for Engineering
参考文献1
-
1Ksugiyama Fnakahara T ohmi.为更低亚微米ULSI工艺设计一个气体输送系统微污染[J].1989,(8):29-102.
-
1刘俊杰,朱能,高志红.超高级别微电子洁净厂房的测试[J].暖通空调,2003,33(3):97-98.
-
2邱斌.探究城市燃气管道设计施工中的常见问题[J].中文信息,2013(11). 被引量:1
-
3孙丽娟.对市政给排水设计中的问题探讨[J].建筑·建材·装饰,2015,0(4):65-65.
-
4朱霖轩.城市燃气管道设计施工中常见问题及解决方法[J].低碳世界,2017,7(3):107-108. 被引量:6
-
5缪宇宁,葛春辉.玻璃钢夹砂管设计施工中的若干问题[J].特种结构,2001,18(3):34-36. 被引量:2
-
6孟东军.对城市燃气管道设计施工问题的探讨[J].现代企业文化,2008(18):122-123.
-
7徐君奇.有线电视传输网络的计算机辅助设计[J].中国科技博览,2011(14):107-108.
-
8岑建伟,朱宁.浅析华夫楼板施工控制[J].民营科技,2010(9):293-293.
-
9三月鸟.音乐四处蔓延——索尼CMT-DH5BT音响[J].大众数码,2008,0(2):110-110.