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以经济的投资达到满意的效果——微电子厂房管道设计施工

Achieve Satisfactory Effect by the Investment with Economy
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摘要 介绍127mm(φ5英寸)0.8~1.2μm双极电路生产线对气体、纯水的质量要求,以及如何以经济的投资达到满意的结果。
作者 姜红华
出处 《工程建设与设计》 2003年第2期27-28,共2页 Construction & Design for Engineering
  • 相关文献

参考文献1

  • 1Ksugiyama Fnakahara T ohmi.为更低亚微米ULSI工艺设计一个气体输送系统微污染[J].1989,(8):29-102.

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