平板检测系统直线电机运动平稳性研究

Research on the operation smoothness of linear motor in AOI

当前平板显示技术与器件处于飞速发展阶段,平板显示屏的良率更是人们所关注的重点,保证平板显示屏检测过程中扫描的精准性至关重要。交待了平板显示屏自动光学检测系统中双直线电机运动速度平稳的重要性。给出了基于PLC的速度平稳性测试系统的实现方法。探讨利用光栅搭建实时闭环控制系统,并在速度平稳性测试平台中对两主轴分别在SVB与SVR运动模块控制下进行测试实验,测试结果表明,使用SVR进行电机运动控制平稳性更佳。