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LASER RECRYSTALLIZED CMOS/SOI DEVICES

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摘要 SOI (Silicon on Insulator) is an ideal material for developing high speed complementary metal-oxide-semiconductor and three dimensional large scale integrated circuits. SOI prepared by melt regrowth methods with laser beams, electron beams and moving graphite strip heaters has good quality and is suitable for
出处 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1986年第15期1070-1073,共4页
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