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SOI,二十一世纪的硅集成电路技术——访上海新傲科技有限公司总工程师林成鲁
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摘要
SOI(Siliconon Insulator)指的是绝缘层上的硅,是一种在硅材料与硅集成电路巨大成功的基础上出现的有独特优势、能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术。随着信息技术的飞速发展。
作者
彭慈华
出处
《集成电路应用》
2003年第3期60-61,共2页
Application of IC
关键词
SOI
硅集成电路技术
人物采访
林成鲁
中国
半导体材料
分类号
F426.63 [经济管理—产业经济]
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集成电路应用
2003年 第3期
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