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SOI,二十一世纪的硅集成电路技术——访上海新傲科技有限公司总工程师林成鲁

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摘要 SOI(Siliconon Insulator)指的是绝缘层上的硅,是一种在硅材料与硅集成电路巨大成功的基础上出现的有独特优势、能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术。随着信息技术的飞速发展。
作者 彭慈华
出处 《集成电路应用》 2003年第3期60-61,共2页 Application of IC
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