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Bipolar制造工艺中硼扩散工艺的优化与改进

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摘要 传统的双极电路制造工艺普遍采用了硼扩散工艺,主要用来形成重掺杂区。一般硼扩散都采用固相源扩散,通常用氮化硼圆片做为硼扩散的固相源,这些圆片的直径与硅片的直径相同或稍大一些。作为固相源的氮化硼因为在高温下反复进出炉,致使其常常容易变形,均匀性变差。采用一种固相源双面交替式使用法,不但使源片变形程度大大减小,也使硼扩散的均匀性得到很大提高。
作者 李丙旺
机构地区 中国兵器工业第
出处 《集成电路通讯》 2003年第1期16-18,共3页
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